粉末溅射平面薄膜型SnO2/CeO2酒敏元件

摘要：

本文研究 粉末溅射平面薄膜型SnO2/CeO2酒敏元件，介绍了用粉末溅射做出的两种平面薄膜型酒敏元件的工艺、芯片结构和基本参数测试的结果。

关键词： 粉末溅射 薄膜型 酒敏元件工艺 芯片结构 酒气测试 传感器

作者: 刘晓健 曲鲁 李东华 卫东 裘南畹

作者单位: 济南半导体研究所,山东,济南,250014 山东大学,山东,济南,250061

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国湿度与水分测量技术学术交流会暨第九届全国气湿敏传感技术学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 71-74

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）