ZnO薄膜气敏元件

摘要：

通过在Al2O3衬底上粉末溅射ZnO做出了气敏特性和稳定性较好的ZnO薄膜气敏元件,实现ZnO薄膜的实用化,表明了ZnO是除SnO2外又一种新的气敏基材料.文中还对ZnO薄膜有关气敏特性和元件的气敏电流IG随酒气浓度C变化的规律进行了介绍。

关键词： ZnO薄膜 气敏元件 Al2O3衬底 粉末溅射 酒气浓度计测 气体传感器

作者: 孙静静 陈慧凯 裘南畹 李东华 卫东

作者单位: 山东大学,山东,济南,250100 济南半导体研究所,山东,济南,250014

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国湿度与水分测量技术学术交流会暨第九届全国气湿敏传感技术学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 67-69

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）