低功耗甲烷气敏元件的制备及气敏性能研究

摘要：

甲烷气体通常需要在较高的工作温度下工作,要达到这个工作温度区间,元件体电阻越大,功耗也就越大;要降低功耗,就要降低元件体电阻.本文所述元件是在SnO2敏感膜材料中掺入Pd,Sb2O3,Al2O3等添加剂,制成微珠式元件,从而大大降低了元件的体电阻,设计出一种低功耗CH4气敏元件.此种元件在低于150 mW的加热功率下,在5000×10-6的CH4气氛中灵敏度可达到3以上,响应时间小于10 s,且具有良好的选择性和稳定性。

关键词： 甲烷气体 气敏元件 气敏性能 SnO2敏感膜材料 体电阻 气体传感器

作者: 祁明锋 杜为民 王利利 薛西军

作者单位: 郑州炜盛电子科技有限公司,河南,郑州,450001 中国民航郑州空中交通管理中心,河南,郑州,450005

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国湿度与水分测量技术学术交流会暨第九届全国气湿敏传感技术学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 64-66

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）