电容式多孔硅湿敏元件初探

摘要：

阐述了电容式多孔硅湿敏元件的制备方法,并且研究了它的湿敏特性.实验结果表明:电容式多孔硅湿敏元件的电容值随着湿度的增大而显著增大,在中湿区(43.16％RH～68.86％RH)容湿特性为线性,而且有较小的湿滞。

关键词： 多孔硅湿敏元件 湿敏特性 湿滞 传感器 电容式多孔硅

作者: 涂楚辙 杨勇兵 贾振红 黄晓辉 李新刚 向梅

作者单位: 新疆大学,信息科学与工程学院,新疆,乌鲁木齐,830046 喀什师范学院,物理系,新疆,喀什,844000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国湿度与水分测量技术学术交流会暨第九届全国气湿敏传感技术学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 62-64

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）