基于数据采集的MEMS薄膜材料参数在线测试系统

摘要：

本文建立了一套基于数据采集的MEMS薄膜材料参数在线测试系统.该系统包括测试图形,测试信号处理电路及外围附件和专用软件,能自动完成薄膜材料参数的在线测试.测试方法和测试设备简单,能用于工艺线上的在线测试.

关键词： MEMS 数据采集 材料参数 在线测试

作者: 李巧萍 李伟华

作者单位: 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国微米/纳米技术学术年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 1535-1537,1541

在线出版日期: 2006-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）