金属Ti与非金属C复合对CrN薄膜的微观结构及摩擦学性能影响的研究

摘要：

利用中频磁控溅射方法,在(111)硅片上制备了CrN、CrTiN和CrCN薄膜.采用X射线衍射(XRD)分析显示:CrN薄膜呈现比较随机的取向,而CrTiN薄膜明显的(200)取向,结晶性也变差;CrCN则没有出现结晶,通过XPS和Raman分析,发现薄膜中C含量很高,以无定形石墨相存在.CrN和CrTiN薄膜表面和断面没有明显的差别,而CrCN薄膜则出现明显的粗大的柱状结构生长.摩擦实验结果表明:CrCN和CrTiN的摩擦系数比CrN低,而且摩擦系数比较稳定。

关键词： CrN薄膜 薄膜结构 摩擦学性能 中频磁控溅射 X射线衍射

作者: 张广安 王鹏 陈友明 张俊彦 闫鹏勋

作者单位: 兰州大学,等离子体与金属材料研究所,甘肃,兰州,730000 中国科学院兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 373-376

在线出版日期: 2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）