Ti掺杂DLC薄膜的制备及其结构研究

摘要：

利用阴极磁过滤,分别在不锈钢(1Cr18Ni9Ti)和单晶硅基体上制备Ti掺杂复合DLC(TiC/a-C:H)薄膜,分别利用Raman光谱、XPS和IR对薄膜组成及其结构进行了分析,利用纳米压入对薄膜力学性能进行了研究.结果表明:制备的Ti掺杂DLC薄膜,具有典型的含氢类金刚石薄膜的特征;薄膜表面均匀致密;CH4气体流量小于40Sccm时,薄膜中没有sp杂化C出现,随着CH4气体流量的增加,薄膜中sp3含量增加.增大基底偏压,薄膜中键合H原子含量下降,在-150V制备的薄膜具有最小的ID/IG值,硬度达到16.9Gpa。

关键词： 类金刚石碳膜 Ti掺杂 薄膜结构 摩擦性能 阴极磁过滤

作者: 王鹏 陈友明 张广安 刘维民 张俊彦

作者单位: 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州,730000;中国科学院研究生院,北京,100039 兰州大学等离子体与金属材料研究所,甘肃,兰州,730000 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州,730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 369-372

在线出版日期: 2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）