纳米金属氧化物气敏薄膜的最佳晶粒尺寸和介观效应

摘要：

纳米金属氧化物气敏薄膜存在灵敏度的最佳膜厚l*和最佳晶粒尺寸r0*,其值与材料和工艺有关.最佳晶粒尺寸的存在是一种新的介观效应,它来自晶粒尺寸缩小到一定程度时反映吸附氧负离子的Fermi统计失效;根据当晶粒尺寸缩小到特征长度rm时晶粒将保持电中性的Kubo理论对Fermi统计公式进行修正,从而给出了最佳晶粒尺寸r0*=2rm的结果,并用Kubo理论电子逸出功公式估算了rm与r0*的数值。

关键词： 纳米金属氧化物 气敏薄膜 晶粒尺寸 介观效应 Fermi统计 电子逸出功

作者: 李蕾 刘文利 高建华 裘南畹

作者单位: 山东大学,物理和微电子学院,山东,济南,250061

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国湿度与水分测量技术学术交流会暨第九届全国气湿敏传感技术学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 12-15

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）