Sb掺杂对ZnO厚膜的电导和气敏性能的影响

摘要：

用共沉淀的方法,制备了纤锌矿结构的ZnO及其掺Sb的ZnO纳米粉.X射线衍射(XRD)分析表明,当锑掺量小于5wt％时没有新相生成.纯ZnO和掺Sb的ZnO器件的气敏和电阻测试结果发现:不同的厚膜烧结工艺对气体的敏感性影响较大,并且掺Sb后ZnO的气敏性能有所提高,电导峰消失.从缺陷角度、XPS分析的结果进行了讨论,初步解释了锑的掺入导致电导变化和气敏性能提高的原因。

关键词： ZnO厚膜 Sb掺杂 气敏性能 电导率 Sb2O3 共沉淀 烧结工艺

作者: 江国顺 李惠 张明明 王东生

作者单位: 中国科学技术大学,材料科学与工程系,安徽,合肥,230026

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国湿度与水分测量技术学术交流会暨第九届全国气湿敏传感技术学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 9-12

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）