溶胶-电雾化法在光纤表面制备PZT薄膜

摘要：

本文首次提出了使用溶胶-电雾化法在光纤表面制备PZT压电陶瓷薄膜,分析了光纤表面PZT压电陶瓷薄膜的成膜机理与特点,系统的研究了溶胶-电雾化法制备PZT压电陶瓷薄膜的特点,并分析了前驱液浓度、电雾化条件、PZT压电陶瓷薄膜沉积过程温度等因素对于PZT压电陶瓷薄膜的表面质量的影响.针对整个工艺过程进行了优化,最终得到了表面质量较好的PZT压电陶瓷薄膜.

关键词： 溶胶-电雾化法 PZT薄膜 升温控制

作者: 吴亚雷 吴建华 褚家如

作者单位: 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,合肥,230027

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国微米/纳米技术学术年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 1792-1795

在线出版日期: 2006-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）