表面微观形貌测量技术研究概述

摘要：

表面微观形貌测量在工业生产、自动检测、电子工业、机器人视觉等领域有着极大的作用,表面微观形貌测量技术是现代精密测试计量技术的一个重要组成部分.本文概述了表面微观形貌的几种测量方法的测量原理及其优缺点,着重介绍了光学测量方法.

关键词： 表面微观形貌 测量技术 光学测量

作者: 马雪红 时小军 胡仲翔

作者单位: 中国人民解放军装甲兵工程学院装备再制造系,北京,100072

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 1064-1068

在线出版日期: 2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）