物理气相沉积CrN涂层的研究进展

摘要：

物理气相沉积(PVD)技术制备的CrN涂层能够很好地提高各种工、模具和机械部件的抗氧化、耐腐蚀和摩擦学性能.溅射和阴极弧源方法的PVD技术在金属离化率的提高及大颗粒的排除等方面有了很大的改进,被广泛用于制备CrN涂层.本文概括了CrN涂层的不同PVD制备技术,讨论了氮气分压、基体偏压及过渡层等沉积参数对CrN涂层制备的影响,综述了CrN涂层的抗氧化、腐蚀性能和摩擦磨损特性.

关键词： 物理气相沉积 CrN涂层 抗腐蚀性能 溅射 阴极弧源 氮气分压 摩擦磨损性能

作者: 莫继良 朱旻昊 安剑 雷斌 周仲荣

作者单位: 西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川,成都,610031 西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川,成都,610031;自贡硬质合金有限责任公司成都分公司,四川,成都,610100

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 410-414

在线出版日期: 2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）