3Cr13不锈钢基底上DLC膜牢固度的研究

摘要：

利用脉冲真空电弧离子镀技术在3Cr13不锈钢衬底上制备厚度＞1ìm类金刚石薄膜.分别使用Ti,TiN做过渡层来研究类金刚石膜的附着力及硬度问题.采用划痕仪测试了薄膜与不锈钢基底的结合强度,采用显微硬度计测试了薄膜的显微硬度,并用B.Jonsson和B.Hogmark方法将薄膜硬度分离出来,得到了硬度,附着力与膜层间的关系,并对试验结果进行了理论解释.结果表明:Ti过渡层的引入明显的改善了膜与不锈钢之间的结合强度。

关键词： 类金刚石薄膜 不锈钢基底 薄膜硬度 薄膜附着力 过渡层 脉冲真空电弧离子镀

作者: 苗树翻 严一心

作者单位: 西安工业大学,光电工程学院,西安,710032

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 406-409

在线出版日期: 2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）