活性屏离子渗氮过程中的粒子形貌与结构研究

摘要：

活性屏离子渗氮是依靠从活性屏上溅射下来的活性粒子沉积在工件表面,利用这些粒子进行渗氮处理.通过对不同条件下收集到的粒子分析研究发现,活性屏离子渗氮是按着溅射-吸附-脱附-扩散等步骤分阶段进行,粒子在活性屏离子渗氮过程中只是起着渗氮载体的作用.

关键词： 活性屏离子渗氮 溅射粒子 吸附-脱附模型

作者: 赵程 赵慧丽 侯俊英

作者单位: 青岛科技大学等离子体表面技术研究所,青岛,266061

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 641-644

在线出版日期: 2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）