MOEMS光学系统的发展与应用

摘要：

本文概述了MOEMS光学系统的种类和特点,介绍了几种主要的MOEMS光学产品的机理和应用方向,阐明了其作为光电技术的前沿领域,所具有的重要作用和广阔前景,提出了相关的研究建议.

关键词： 微光电子机械系统 光学系统 制作技术

作者: 耿凡

作者单位: 天津津航技术物理研究所,天津,300192

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004年全国光电技术学术交流会

会议地点: 福建厦门

会议语种:中文

页码: 690-694

在线出版日期: 2004-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）