大口径球面计算全息图检测样板的制作研究

摘要：

凸非球面检测问题一直是限制其应用的主要瓶颈,在凹球面上制作出计算全息图,通过设计使其衍射面与待检凸非球面一致,可实现凸非球面的检测.量化了用于检测凸非球面的球面计算全息图样板,给出了球面计算全息图样板的位相结构,利用极坐标激光直写系统制作了球面计算全息图,计算全息图的环带定位误差为0.6μm,环带线宽误差6％以内,测试结果表明制作的球面计算全息图的精度,分析了球面计算全息图的制作误差.

关键词： 衍射光学 计算全息图 激光直写光刻 凸非球面检测 凹球面全息样板

作者: 李凤有 卢振武 孙强 王肇圻

作者单位: 南开大学现代光学研究所,天津,300071;中国科学院长春光机与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春,130033 中国科学院长春光机与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春,130033 南开大学现代光学研究所,天津,300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004年全国光电技术学术交流会

会议地点: 福建厦门

会议语种:中文

页码: 686-689

在线出版日期: 2004-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）