硅微仿生矢量水声传感器研制

摘要：

本文根据鱼类侧线听觉仿生学原理,设计出硅微仿生矢量水声传感器结构.该传感器结构包括高精度压阻式硅微换能单元结构和空芯光子晶体光纤柱体.讨论了水声传感器结构的仿生学原理和声学原理.用有限元软件Ansys分析传感器的应力分布,讨论了传感器的加工工艺,并采用气流静态加载法测试出传感器的矢量指向性图,测试结果表明,仿生水声传感微结构具有”8字型”矢量指向性.

关键词： 仿生学 矢量水声传感器 微机电器件

作者: 谢斌 薛晨阳 张文栋 熊继军 张斌珍 陈尚

作者单位: 中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原,030051

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国微米/纳米技术学术年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 2300-2303

在线出版日期: 2006-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）