基于共振隧穿二极管的矢量水声传感器设计

摘要：

本文提出了一种基于共振隧穿二极管(RTD)的矢量水声传感器,传感器采用共振隧穿二极管作为敏感元件,共振隧穿二极管布置在传感器结构中柱体的四周边缘.两个反方向变化的基于共振隧穿二极管的振荡器的输出信号通过信号处理电路预处理后输入微处理器,计算出声源水平方位角和声压.分析并设计了基于共振隧穿二极管的振荡电路、矢量水声传感器物理结构以及制作工艺,讨论了传感器信号处理方法.

关键词： 共振遂穿二极管 振荡器 矢量水声传感器 GaAs 微结构 纳机电器件

作者: 张斌珍 谢斌 薛晨阳 张文栋 陈尚

作者单位: 北京理工大学机电工程学院,北京,100081;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原,030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原,030051

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国微米/纳米技术学术年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 2283-2285,2289

在线出版日期: 2006-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）