基于双横向效应PSD的高精度光位置检测仪

摘要：

精密机械加工业的发展对光敏位置检测仪提出了更高的要求.新型双横向光电效应PSD克服了横向光电效应PSD具有测量错误大、非线性严重等不足.基于双横向光电效应PSD研制的高精度光位置检测仪位置分辨率高、性能稳定、能满足现阶段工业发展的需要.

关键词： 双横向光电效应 PSD 光位置检测仪

作者: 刘鸿飞 王淦泉 陈桂林

作者单位: 中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004年全国光电技术学术交流会

会议地点: 福建厦门

会议语种:中文

页码: 1084-1088

在线出版日期: 2004-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）