衍射法细圆柱体直径测量系统设计

摘要：

本文针对细圆柱体直径的测量问题,根据夫琅和费衍射测量原理,研制了一套细圆柱体直径测量系统.测量装置采用特殊的立式结构、黑色大理石座体、半导体激光器为光源以及面阵CCD为图像传感器,并编制了相应的测量软件.该系统具有功能强大、低成本、高精度、高效率和操作简单的特点.实验结果表明运用该装置测量细圆柱体直径的相对误差小于0.75％.

关键词： 夫琅和费衍射 细圆柱体 测量装置 相对误差

作者: 唐文彦 崔建文 王军

作者单位: 哈尔滨工业大学自动化测试与控制系,哈尔滨,150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004年全国光电技术学术交流会

会议地点: 福建厦门

会议语种:中文

页码: 1063-1065

在线出版日期: 2004-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）