基于自旋阀的GMR线性传感器的制作

摘要：

本文利用退火技术制作出自旋阀型GMR线性传感器,传感器矫顽力低于0.01Oe,具有良好的线性,电阻条的宽度与传感器器线性范围和灵敏度直接相关,随着条宽减小,传感器器的线性范围增加而灵敏度降低,实验和理论计算的结果一致.

关键词： 自旋阀 巨磁电阻 线性传感器 GMR 退火

作者: 李伟 刘华瑞 刘鹏 任天令 刘理天

作者单位: 清华大学微电子学研究所,北京,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国微米/纳米技术学术年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 2065-2067,2071

在线出版日期: 2006-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）