电容式RF MEMS开关开关过程产生的电磁波模型和分析
在电容式RF MEMS开关的动态工作过程中,会有电磁波产生.本文根据开关膜桥的动态运动模型,把开关工作分成了四个过程,并通过麦克斯韦方程建立了各个过程中产生的电磁波模型,最后通过单元面叠加的方法验证了这一模型.在开关电容充电和膜桥下拉过程中,开关都是产生了电磁波脉冲.尤其是在充电阶段,电磁波峰值为105 A/m的量级,持续时间为3.15×10-8μs.而在开关电容放电过程中,产生的电磁波是时谐波,其频率为23.4 GHz(落在RF信号的频率范围内了).这就提醒了设计者们要增加特殊的滤波电路来过滤掉RF信号中噪声.此外,辐射的电磁波同样对开关周围的电路和器件有影响,这需要进一步的研究.
动态过程 电容式 RF MEMS开关 电磁波
袁晓林 黄庆安 廖小平
东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096
国内会议
南京
中文
1945-1950
2006-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）