面向RF IC的片上铁氧体磁膜电感

摘要：

本文采用集成工艺制作了片上铁氧体磁膜(Ni0.4Zn0.4Cu0.2Fe2O4,Y2.8Bi0.2Fe5O12和Co7ZrO9)射频微电感.铁氧体薄膜采用溶胶凝胶法制作,高频特性较好,适于片上电感的应用.对电感样品进行了测试和等效电路分析,结果表明,与无磁膜结构相对比,铁氧体磁膜电感显著增强了电感性能,是一种实现小尺寸、高性能片上RF IC电感的很有前景的途径.

关键词： 铁氧体 薄膜 电感 射频 集成电路

作者: 杨晨 刘锋 任天令 刘理天

作者单位: 清华大学微电子学研究所,北京,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国微米/纳米技术学术年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 1930-1933

在线出版日期: 2006-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）