硅微振梁式加速度传感器中微杠杆结构的设计

摘要：

本文提出了一种采用微杠杆结构进行惯性力放大的硅微振梁式加速度传感器结构,阐述了其工作机理.在此基础上,讨论了两种不同的支点形式,分别推导了这两种结构形式的放大倍数计算公式,发现Ⅰ型支点形式的放大倍数略高于Ⅱ型支点,并采用有限元方法进行了仿真;分析了支点刚度以及输出轴刚度对放大倍数的影响;提出了微杠杆结构设计的原则.

关键词： 硅微振梁式加速度传感器 微杠杆 放大倍数 支点刚度 输出轴刚度

作者: 裘安萍 苏岩 施芹 黄丽斌

作者单位: 南京理工大学机械工程学院,南京,210094 东南大学仪器科学与工程系,南京,210096

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国微米/纳米技术学术年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 2204-2207

在线出版日期: 2006-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）