一种新型的分布式MEMS移相器的小型化设计

摘要：

本文通过在共面波导信号线上贴敷低介电常数的薄层绝缘介质,使得MEMS金属桥与共面波导信号线在”关”态下形成MIM电容的方法,实现了提高”关””开”两种状态下的电容比,从而提高了单位长度上的相移量.与传统的设计方法相比,在达到同样相移量指标的情况下仅需少量的MEMS金属桥就可以实现,工作的可靠性得到提高,未封装MEMS移相器器件的总体尺寸可以减小60％左右,此外由于在”关”态下,金属桥直接贴敷在介质表面上而不会随着外界环境震动,因此移相器的相移精度显著的提高.

关键词： RF MEMS 分布式 传输线 MEMS 移相器 金属桥

作者: 金博识 吴群 贺训军 唐恺 杨国辉 Lee Jong-Chul

作者单位: 哈尔滨工业大学电子与信息技术研究院,哈尔滨,150001 哈尔滨工业大学电子与信息技术研究院,哈尔滨,150001;哈尔滨理工大学应用科学学院,哈尔滨,150080 哈尔滨工业大学电子与信息技术研究院,哈尔滨,150001;韩国光云大学电子工程系,首尔,韩国

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国微米/纳米技术学术年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 1885-1888

在线出版日期: 2006-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）