电磁激励的硅谐振梁设计和有限元分析

摘要：

本文介绍了电磁激励硅谐振梁的激励和检测原理,给出了双端固支的硅谐振梁谐振频率公式,并利用该公式分析了双端固支梁的谐振频率和梁尺寸的关系.本文利用有限元软件模态分析计算了三种不同的谐振频率情况,并逐一加以比较分析.本文还利用有限元软件对受力弯曲的工字梁做了静态分析,从而得出了在一定磁场力作用下的应力分布图,从而对压敏电阻的设计提供了一定的依据.

关键词： 谐振频率 电磁激励 双端固支梁 有限元

作者: 潘军 黄庆安 秦明

作者单位: 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国微米/纳米技术学术年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 1835-1839

在线出版日期: 2006-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）