纳机电系统研究进展

摘要：

本文介绍了纳机电系统(NEMS)的研究进展.首先介绍了美国与欧洲在NEMS军用和航空航天领域的研究目标和进展,接着介绍了一些典型NEMS器件的应用,讨论了NEMS检测与表征技术以及NEMS制造技术,以及NEMS研究发展趋势.

关键词： 纳机电系统 纳米技术 量子效应 界面效应 尺度效应

作者: 何洋 姜澄宇 苑伟政

作者单位: 西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室,西安,710072

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006第五届中国(国际)纳米科技西安研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 47-52

在线出版日期: 2006-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）