梳齿谐振器宏模型的系统级应用

摘要：

宏模型的获取是由Krylov子空间投影法结合器件级有限元分析的宏建模方法来实现,本文利用此模型和基于可重用IP设计思想的系统级组件建模方法建立由VHDL-AMS语言描述的梳齿谐振器系统级模型,在华大VDE仿真平台上搭建出了梳齿谐振器的系统模型,并进行一系列的仿真,包括时域阶跃、交流电压信号仿真和频域交流小信号仿真,仿真结果与商用仿真工具ANSYS仿真结果保持良好的一致.

关键词： 宏模型 VHDL-AMS MEMS 系统级 可重用IP

作者: 李俊 李晓莹 吕湘连 闫子建 常洪龙

作者单位: 西北工业大学微/纳米系统实验室,西安,710072

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国微米/纳米技术学术年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 1340-1343

在线出版日期: 2006-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）