电容式微机械陀螺接口电路
接口电路是电容式微机械陀螺研制中的关键技术之一.本文给出了一种通用的电容式微机械陀螺接口电路方案.该方案包括电容检测和信号处理两个模块.相位相反幅度相同的两路高频载波加在敏感差动电容的两端形成敏感电桥,另一频率的高频载波叠加了驱动信号后加在驱动差动电容两端形成驱动电桥,质量块作为所有电容的公共端连接两电桥接虚地的放大器,构成前置电容检测模块;后续的带通滤波电路将驱动和敏感信号分离,各自解调滤波得到两个模态相应的振动信息,驱动振动对敏感振动再次解调即可得到和输入角速度信号成线性关系的直流电压.采用音叉电容式陀螺进行实验,结果表明该电路能够有效的抑制寄生电容和各个接口电容之间电耦合的,电容分辨率可以达到10-15F.
微机械陀螺 电容检测 电桥 电荷放大器 接口电路 电容传感器
蒋庆华 苑伟政 常洪龙
西北工业大学微/纳米系统实验室,西安,710072
国内会议
南京
中文
2223-2225
2006-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）