钛表面外延生长弛豫铁电薄膜水热工艺研究

摘要：

Pb(Zn1/3Nb2/3)O3(PZN)弛豫铁电陶瓷是一种高介电、高机电耦合系数以及较高居里温度的介质材料.PZN薄膜在微位移器、微传感器等领域有广阔的应用前景.本文采用氧化物为原料,以金属钛为基底,在150℃的低温下水热法外延生长了PZN薄膜.研究发现:矿化剂的初始浓度对于薄膜的质量有着至关重要的影响;所制备PZN薄膜颗粒均匀,表面致密没有裂纹。

关键词： PZN薄膜 弛豫铁电薄膜 水热工艺 外延生长 钛表面

作者: 陈秀丽 刘来君 樊慧庆

作者单位: 西北工业大学材料学院,西安,710072

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 532-534

在线出版日期: 2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）