掺氮对类金刚石薄膜的力学性能的影响

摘要：

采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法,以CH4、N2和Ar作为气源,在不同氮气分压下制备掺氮类金刚石薄膜(α-C:H(N))薄膜)并对其进行FTIR,Raman分析测试其成分,结合进行纳米硬度、摩擦磨损测试来分析含氮量及其在薄膜中的结和方式对摩擦、硬度和弹性模量的影响.研究在不同掺氮量条件下,组成薄膜的化学键结构的转变及由此引起的力学性能的变化的内在原因.

关键词： RF-PECVD 类金刚石薄膜 力学性能 红外光谱 拉曼光谱 射频等离子体增强 化学气相沉积 弹性模量

作者: 周美丽 胡立琼 张跃飞 陈强 葛袁静

作者单位: 北京印刷学院等离子体物理及材料研究室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 452-454

在线出版日期: 2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）