磁过滤阴极弧等离子体制备类金刚石纳米尖点阵列膜

摘要：

采用自行研制的实验装置,用磁过滤阴极弧等离子体结合二次氧化法,在氧化铝模板上制备类金刚石纳米尖点阵列膜.并利用红外光谱(IR)、透射电子显微镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)和自制的场发射测试装置等手段对样品的形貌,内部结构以及场发射性能进行表征,发现了较好的场发射性能。

关键词： 磁过滤阴极弧等离子体 二次氧化法 氧化铝模板 类金刚石纳米尖点阵列 场发射测试 红外光谱

作者: 李晓春 闫鹏勋 李春 崇二敏 刘洋

作者单位: 兰州大学等离子体与金属材料研究所,兰州,730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 442-445

在线出版日期: 2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）