方形重掺杂硅薄膜的极限载荷分析

摘要：

本文考虑残余应力的情况下,薄膜在大挠度时总应力的解析表达式.通过实验观察,深腐蚀得到的浓硼重掺杂硅薄膜表面存在微蚀坑.考虑微蚀坑和残余应力的影响,运用总应力表达式和Griffith裂口强度理论,定量的得到方形浓硼重掺杂硅薄膜的最大挠度和极限载荷Pmax,与已报道的实验值相符.从而解释了浓硼重掺杂硅薄膜的实际断裂强度值远小于晶体理论断裂强度值的矛盾.可以得出,极限载荷Pmax不仅与薄膜的尺寸与形状有关,而且也与材料特性,特别是与制备工艺有关.

关键词： 微机械 浓硼硅薄膜 残余应力 微蚀坑 极限载荷 Griffith裂口强度理论

作者: 徐晨 施梦娱 赵林林 李博 沈光地

作者单位: 北京工业大学电子信息与控制工程学院,光电子技术实验室,北京,100022

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国微米/纳米技术学术年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 1617-1619

在线出版日期: 2006-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）