几种纳米加工技术的原理、特点及其应用

摘要：

纳米加工技术的发展将带来现代工业和社会文明的极大进步.本文从整体上介绍了基于传统半导体加工的纳米加工技术,纳米掩膜刻蚀加工技术,探针直接书写式纳米加工技术,纳米复制加工技术,以及其衍生的纳米加工技术的原理、特点及其应用.

关键词： 纳米加工 掩膜刻蚀 浸笔纳米印刷 微接触印刷 纳米压印 半导体加工

作者: 赵保军 王英 张亚非

作者单位: 上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006第五届中国(国际)纳米科技西安研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 71-77

在线出版日期: 2006-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）