结合LAPS及纳米多孔硅的气体传感器研究

摘要：

本文结合光寻址电位传感器及纳米多孔硅技术研制了一种新型的气体传感器.该传感器结合光寻址电位传感器的微机电系统工艺和平面器件特点以及纳米多孔硅的高灵敏度特性,对实现进一步细胞代谢气体的检测提供了一种可能的手段.初步实验结果表明,在室温条件下,该气体传感器对于乙醇气体具有较明显的响应,并具有一定的浓度梯度特性,证明该传感器的设计是可行的.

关键词： LAPS 多孔硅 气体检测 化学MEMS 气体传感器

作者: 宗小林 蔡华 余辉 王平

作者单位: 浙江大学生物传感器国家专业实验室,生物医学工程教育部重点实验室,生物医学工程与仪器科学学院,杭州,310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国微米/纳米技术学术年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 2142-2144

在线出版日期: 2006-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）