钛合金表面掺金属类金刚石膜的摩擦磨损性能研究

摘要：

本文采用无灯丝离子源结合非平衡磁控溅射的方法,在钛合金基体上制备了掺金属类金刚石(Me-DLC)膜层,利用摩擦磨损试验机对膜层进行摩擦磨损性能的研究,通过表面形貌仪、扫描电镜、硬度计、划痕仪等手段对膜层的摩擦磨损结果进行表征及分析探讨.结果表明:经表面类金刚石涂层处理后,对基体材料起到有效的抗磨减摩作用;特别是掺钨类金刚石膜,膜层的硬度及膜/基结合强度高,抗磨损性能佳,更适合于易磨损器件的表面改性.

关键词： 掺金属类金刚石膜 钛合金 摩擦磨损 非平衡磁控溅射

作者: 林松盛 代明江 侯惠君 李洪武 朱霞高 林凯生 牛仕超

作者单位: 广州有色金属研究院,广东,广州,510651 中南大学材料科学与工程学院,湖南,长沙,410083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 840-844

在线出版日期: 2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）