CO2激光直写结合湿法刻蚀加工玻璃基微流控芯片

摘要：

玻璃是制作微流控芯片的重要材料,其加工工艺主要基于光刻后湿法腐蚀,对设备和实验室要求较高.本文提出以普通指甲油和指甲油/金/铬为牺牲层,利用CO2激光烧蚀开窗口,辅以湿法腐蚀加工玻璃基微流控芯片的方法,并考察了激光加工参数,腐蚀液组成,牺牲层等因素对芯片质量的影响.该方法简便易行,不需要光刻的昂贵设备和繁杂步骤.

关键词： 微流控芯片 CO2激光 湿法腐蚀 激光直写

作者: 刘晓清 郝苇苇 高巍巍 周勇亮

作者单位: 厦门大学化学化工学院化学系,化学生物学福建省重点实验室,福建,厦门,361005

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国微米/纳米技术学术年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 2038-2040

在线出版日期: 2006-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）