大气压下等离子枪沉积类金刚石薄膜的研究

摘要：

在大气压下,以甲烷为单体,氩气为工作气体,利用DBD等离子枪沉积类金刚石薄膜(DLC).考察了基片预处理、内电极形状、进气方式、以及等离子体炬喷口和基材的距离对DLC薄膜沉积的影响.通过傅立叶变换红外光谱(FTIR)分析聚合膜结构并探索可能的沉积机理;表面轮廓仪测定了成膜速率;扫描电子显微镜(SEM)观察了沉积膜的表面形貌,并对薄膜进行了机械性能测量。

关键词： 大气压DBD DBD等离子枪沉积 DLC薄膜 类金刚石薄膜 基片预处理 内电极 红外光谱 表面轮廓仪

作者: 汤文杰 张跃飞 陈强 葛袁静

作者单位: 北京印刷学院等离子体物理及材料研究室,北京,102600

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 433-438

在线出版日期: 2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）