TiAlN三元涂层结构及性能研究

摘要：

本文用中频孪生溅射技术在Si(111)基底上制备了富Al元素且Al/Ti原子比不同的TiAlN涂层,对其结构及表面形貌进行了研究,并在UMT-2MT摩擦试验机上进行摩擦试验,研究了不同原子比下的摩擦性能及摩擦系数,并对试验后的形貌进行了分析.发现涂层结构随着Al含量的增高发生转变,在高含量下,晶界明显,摩擦系数也明显增大,涂层脱落严重.

关键词： TiAlN三元涂层 涂层结构 摩擦性能 表面形貌 中频孪生溅射

作者: 王君 陈江涛 张广安 苗彬彬 张飞 闫鹏勋

作者单位: 兰州大学等离子体与金属材料研究所,甘肃,兰州,730000;中国空间技术研究院510所,甘肃,兰州,730000 兰州大学等离子体与金属材料研究所,甘肃,兰州,730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 428-432

在线出版日期: 2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）