应用MS-T3000摩擦磨损试验仪对类金刚石纳米复合涂层进行摩擦磨损性能研究

摘要：

MS-T3000摩擦磨损试验仪运用球-盘摩擦原理,得到材料或薄膜的摩擦性能和耐磨强度.尤其在硬质涂层领域中应用MS-T3000可以精确的测试出的摩擦系数和磨损量.本文利用改进的闭合场孪生非平衡中频磁控系统在基体温度低于100℃的条件下沉积了Ti-DLC纳米复合膜.采用研究MS-T3000摩擦磨损试验仪对类金刚石纳米复合涂层的摩擦磨损性能进行了系统的研究.

关键词： 摩擦系数 离子镀 类金刚石膜 封闭非平衡直流 磁控溅射系统 闭合场孪生非平衡中频磁控系统 纳米复合涂层 摩擦磨损

作者: 华敏奇 杨兵 张莎莎

作者单位: 中国科学院兰州化学物理研究所,兰州,730000 武汉大学动力与机械学院材料工程系,武汉,430072 兰州中科凯特科工贸有限公司,兰州,730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 819-823

在线出版日期: 2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）