平面平晶平面度测量结果的不确定度评定

摘要：

文章介绍了平面平晶平面度测量常用的方法之一:用等厚干涉法,测量工作平晶平面度时的误差来源、类型、不确定度合成方法及各分量对测量结果的影响程度.

关键词： 平面平晶 平面度测量 测量不确定度 测量误差

作者: 尤林英

作者单位: 苏州市计量测试研究所,江苏,苏州,215006

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006年加强能源计量，促进节能降耗技术交流暨流量测量技术研讨会

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 136-138

在线出版日期: 2006-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）