Sol-gel法制备稀土共掺Al2O3光学薄膜的控制干燥技术
非水溶胶-凝胶(sol-gel)法浸渍提拉工艺在热氧化SiO2/Si(110)基体上制备了Er3+-Yb3+共掺Al2O3光学薄膜.在溶胶中加入干燥控制剂N,N-二甲基甲酰胺(DMF)抑制了Al2O3薄膜在高浓度稀土离子掺杂导致的开裂.DMF的加入量与Al(OC3H7)3的摩尔比为1∶1,20次循环提拉干燥,1000℃烧结得到均匀、致密、无开裂、厚度在1.5-1.6 μm的光学薄膜.薄膜光致发光(PL)测量得到1.400-1.700 μm波段以1.53 μm为中心的强发光.DMF对薄膜开裂的控制作用是因为胶粒表面的-Al-OH在DMF作用下发生了脱质子过程,导致胶粒之间进一步聚合,增强了凝胶膜的力学强度。
稀土掺杂 Al2O3光学薄膜 光致发光 溶胶凝胶法 控制干燥 光波导薄膜 浸渍提拉工艺
朱振华 沙明杰 杨涛 雷明凯
大连理工大学材料科学与工程学院表面工程研究室,辽宁大连,116024
国内会议
兰州
中文
487-490
2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）