Kintic Monte Carlo对薄膜内部结构的研究
本文用Kintic Monte Carlo方法研究了薄膜的生长机理,建立了一个比较合理的三维模型,并对激活能的计算给出了比较合理的方法.首次定义了表征薄膜内部致密程度的物理量”相对密度”,并且重点计算模拟了”相对密度”随衬底温度、入射率、薄膜平均厚度的变化关系.结果表明,随着衬底温度的升高,薄膜相对密度md逐渐增大,当达到相对密度的饱和温度Td时,md趋近于1.随着入射率的增大,相对密度的饱和温度Td不断增大.随着薄膜厚度的增加,相对密度逐渐减小,特别是在膜较薄、入射率较大、衬底温度较低时,这种下降趋势更加明显.当膜较厚时,下降趋势逐步平缓。
Monte Carlo模拟 计算机模拟 薄膜生长 薄膜相对密度 三维模型
郑小平 张佩峰 范多旺 李廉 郝远 贺德衍
兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室;兰州城市学院学校电子信息科学与技术研究所到之处;兰州理工大学有色金属新材料国家重点实验室 兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室;兰州城市学院学校电子信息科学与技术研究所到之处 兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室 兰州大学 兰州理工大学有色金属新材料国家重点实验室
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2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）