SiOx抗腐蚀层的大气压DBD等离子体枪合成及性能研究

摘要：

本文进行了大气压下等离子体枪合成SiOx薄膜的实验研究.通过傅立叶交换红外光谱和扫描电子显微镜检测,探索了SiOx薄膜结构随等离子体放电参数之间的关系.实验结果显示,等离子体枪能在基材表面沉积的具有质地均匀和交联结构SiOx薄膜.在0.1M NaCl溶液中进行动态电位极化测定,对沉积有SiOx层的碳钢样品进行了抗腐蚀性能研究,结果表明沉积有SiOx层的碳钢样品在5％的NaCl溶液中腐蚀速率最大可降低15倍,具有良好的抗腐蚀性能.

关键词： DBD等离子体枪 大气压 氧化硅薄膜 抗腐蚀性能 介质阻挡放电

作者: 陈强 张跃飞 韩尔立 陈飞 葛袁静

作者单位: -北京印刷学院,等离子体物理及材料研究室,北京,102600 -北京石油化工学院,北京,102600

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 470-473

在线出版日期: 2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）