高纯氨纯化及规模化生产技术

摘要：

以工业氨为原料,采用多级吸附、低温精馏以及超滤相结合的组合纯化方法精制高纯超净氨,产品纯度达到99.9999％以上,同时建立与美国蓝氨技术指标相当的企业标准,建立气体杂质、金属杂质的分析方法,形成规模化生产能力,生产的高纯氨满足氮化家以及TFT-LCD制造工艺的使用要求.

关键词： 高纯氨 纯化 规模化生产

作者: 赵毅 计燕秋 张琳

作者单位: 大连保税区科利德化工科技开发有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006中国平板显示学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 348-350

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）