无机电致发光显示器件中上电极成形的光刻方法

摘要：

文中描述了用光刻的方法在无机电致发光显示器件上制作上电极的方法,主要介绍了一种不含水的负型光刻胶及配套的纯有机显影液、漂洗液等辅液的使用.利用这种不含水的光刻胶及辅液,光刻抬离使器件上电极成形,这种纯有机试剂可以减少对器件中发光层及介质层的破坏”1”,达到精细光刻上电极的目的.简要比较了此种方法与直接掩模法对器件的影响,并提出了改进措施.

关键词： 电致发光显示器件 负性光刻胶 显影液 漂洗液 光刻 直接掩模

作者: 刘红君 陈涛 张弈 徐毅 肖田

作者单位: 上海广电电子股份有限公司,平板显示技术研究开发中心,上海,200081

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006中国平板显示学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 298-301

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）