片式半导体材料热处理炉控制系统

摘要：

本文介绍片式半导体材料热处理炉的控制系统,描述根据片式半导体材料热处理炉的具体情况所采用的控制程序,讨论PID控制、智能控制等控制方法.实际应用证明,该系统可以准确地控制温度,性能稳定,提高了产品合格率,降低了生产成本.

关键词： 片式半导体材料 热处理炉 控制器 PID控制 智能控制

作者: 何舒新 郑京香

作者单位: 北京信息职业技术学院,应用电子系,北京,100070 冶金自动化研究设计院

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国冶金自动化信息网2006年会——炼钢连铸过程自动化技术交流会

会议地点: 福建厦门

会议语种:中文

页码: 1016-1018

在线出版日期: 2006-09-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）