一种压阻式三轴加速度传感器的设计

摘要：

本文介绍了一种基于SOI的硅压阻式三轴加速度传感器的设计和制备.该三轴加速度传感器采用四个相互垂直的悬臂梁支撑中间质量块的结构.加速度传感器通过利用合理布置的压敏电阻构成的惠斯通电桥测量三个方向的加速度.对加速度传感器结构进行了理论分析和有限元仿真优化,确定加速度传感器的结构尺寸,并详细论述了三轴加速度传感器的制备工艺步骤和测试结果.

关键词： 加速度传感器 压阻效应 SOI MEMS

作者: 孙剑 赵玉龙 苑国英 蒋庄德 徐敬波

作者单位: 西安交通大学精密工程研究所机械制造系统工程国家重点实验室,西安,710049

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国微米/纳米技术学术年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 2197-2199

在线出版日期: 2006-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）