三维微型梳齿的静电结构耦合特性研究

摘要：

为了解微机电系统中,静电结构耦合作用对微梳齿结构性能发挥的复杂作用,对三维微梳齿驱动器的静电结构耦合特性进行了研究,用有限元方法仿真和分析了耦合作用在3个方向上对梳齿结构静电力或位移的影响.结果显示出3个方向的耦合作用都随着电压增大而增大,不同方向耦合作用对静电力和位移的影响不同,其中x方向上的作用最为显著,考虑梳齿在不同情况下的耦合作用对梳齿结构的设计、驱动电压的选择等有指导意义。

关键词： 微梳齿结构 静电结构耦合 有限元法 微机电系统 驱动电压

作者: 朱毅 郭丹

作者单位: 清华大学精密仪器与机械学系摩擦学国家重点实验室,北京,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006全国摩擦学学术会议

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 58-60,63

在线出版日期: 2006-07-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）