硅微机械动平板表面粘附阻力
以MEMS动平板模型为研究对象,建立了微间隙动平板表面粘附阻力的理论模型,利用界面化学中表面能和粘附功的概念,推导出了光滑平板和开孔平板的表面粘附阻力公式,并探讨了影响表面粘附阻力的诸多因素.在此基础上还设计了拉簧-平板-弯簧器件以进行相应的表面粘附阻力实验研究.理论分析和实验验证均表明,表面粘附阻力随单位面积的液气界面表面能以及平板宽度的增大而增大,随着接触角的减小而增大,且平板工艺开孔的总宽度增大以及平板移动方向的孔数的增多将显著增大表面粘附阻力。
微机械动平板 微间隙平板 表面能 表面粘附阻力 界面化学
沈雷瑾 侯利程 刘谨
上海大学机械自动化系,上海,200072
国内会议
哈尔滨
中文
64-67
2006-07-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）